陶瓷、金屬和高分子是目前的三大固體材料,這些材料主要差異在于化學鍵的不同。金屬以金屬鍵結合,高分子則是共價鍵及凡德瓦爾鍵,陶瓷材料主要是共價鍵和離子鍵為多數,都是屬于強鍵結。而陶瓷材料根據原料又可分為一般陶瓷及特種陶瓷,其中特種陶瓷又分為氧化物陶瓷(例如氧化鋁陶瓷、氧化鈹陶瓷)、碳化物陶瓷(碳化硅陶瓷)、氮化物陶瓷(氮化鋁陶瓷)硼化物陶瓷…等。在實際應用時陶瓷中的氧化鋁含量高于75%就稱作氧化鋁陶瓷,根據含量不同分為75瓷(75%氧化鋁)、85瓷(85%氧化鋁)、95瓷(95%氧化鋁)和99瓷(99%氧化鋁)。而當氧化鋁含量越高時,氣孔越少、玻璃越少、陶瓷性能也越好,但也代表需要更復雜的制程及高的成本。陶瓷膜片傳感器使用的就是99.9% 的超純氧化鋁陶瓷。它具有極高的硬度,光滑的表面(Ra < = 0.35的拋光度),三倍金屬材料的延展力。
99.9%超純氧化鋁陶瓷元件
傳感器的核心元件是傳感器,是以兩個圓柱形99.9%的超純氧化鋁陶瓷元件(陶瓷膜片和本體)密封連接,構成一個高強度的全密封裝置。制程傳感器直接作用在堅固耐用的陶瓷隔離膜片上,導致膜片發生形變。測量陶瓷基板上的電極、隔離膜片上與壓力成比例關系的電容變化量、及隔離膜片的厚度定義了測量范圍。隨著儀表技術的提升
陶瓷膜片
采用陶瓷膜片進行傳感測量,使得原本不易測量的制程變得異常輕松:
陶瓷膜片優勢:
適用于高真空下測量,可承受絕對壓力0.1 Pa 的極度真空環。解決了金屬膜片在高真空測量時可能導致膜片永久變形的問題。
典型應用:真空裝置
極度耐磨,其耐磨性大約是不銹鋼的22倍,厚度是傳統金屬膜片的40倍。解決了使用金屬膜片測量含固體介質時可能導致膜片磨損的問題。
典型應用:造紙業紙漿壓力測量
干式傳感器,沒有填充任何的油脂。
典型應用:半導體行業的超純水測量
抗頻繁的壓力沖擊,擁有優秀的長期穩定性。
即使簡單的制程條件,同樣也可以采用陶瓷膜片的壓力計:堅硬耐磨的磨片,讓您的現場安裝時,不必再擔心操作失誤造成磨片磨損的情況。