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清潔度 |
大于下列目標粒徑的顆粒的上限顆粒數濃度(顆粒/m3)
|
美國聯邦標準
209E 清潔度
班級
(現已廢止)
|
|||||
0.1μm
|
0.2μm
|
0.3μm
|
0.5μm
|
1微米
|
5μm
|
||
1
|
十
|
2
|
|
|
|
|
|
2
|
100
|
24
|
十
|
|
|
|
|
3
|
1,000
|
第237章
|
102
|
35
|
|
|
1 |
四
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
第352章
|
83
|
|
十
|
五
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
第832章
|
|
100
|
6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320 |
293
|
1,000 |
7
|
|
|
|
352,000 |
83,200
|
2,930
|
10,000 |
8
|
|
|
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
|
100,000 |
9
|
|
|
|
35,200,000
|
8,320,000
|
293,000 |
|
清潔度等級
|
通風頻率
|
|
---|---|---|
國際標準化組織
|
美國聯邦標準 209E 清潔度等級
|
次/小時
|
5級
|
100級
|
約300次
|
6級
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1,000級
|
約80次
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7級
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10,000級
|
約40次
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8級
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10萬級
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約20次
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