顆粒傳感器是一種對一定時間內吸入的空氣中顆粒數量進行計數的裝置。主要用于潔凈室。這里的“顆粒”是指異物的細小顆粒,特別是在半導體制造中,這種異物必須進行管理,因為它會導致缺陷和降低成品率。類似的設備是粒子計數器,但用途幾乎相同。然而,雖然顆粒傳感器能夠連續測量,但一些顆粒計數器不能夠連續測量。粒子計數器往往比粒子傳感器具有更精確的測量,尺寸更大,并且許多型號不僅可以在空氣中使用,還可以在液體中使用。高性能型號可以測量 0.1? 或更大的顆粒。
顆粒傳感器的應用
顆粒傳感器主要安裝在潔凈室中,用于監測房間內的潔凈度。具體來說,我們監控汽車涂裝過程的清潔度并管理半導體制造工廠的潔凈室。
應用范圍正在擴大,例如,用于測量 PM2.5 的車輛顆粒傳感器,其對人體的影響令人擔憂。體積非常小的超緊湊型號往往很受歡迎,也有可以安裝在DIN 導軌上和壁掛式的型號,這樣就不會占用太多空間。
顆粒傳感器原理
顆粒傳感器有兩種主要工作原理:光散射和光屏蔽。兩者都有內置泵來吸入空氣并以恒定速度進行連續測量,但每種顆粒檢測方法根據是否使用光散射或通過時的衰減而有所不同。
1.光散射法
光散射顆粒傳感器是一種利用光電二極管將散射光轉換為電信號的檢測方法,以檢測激光撞擊空氣中的細顆粒物時光的散射情況。利用這種方法,可以根據光散射產生的電信號的數量和強度來計算微粒的尺寸和數量。
2、遮光法
遮光型顆粒傳感器不斷地用光照射光電二極管,當顆粒物穿過光時,利用電信號檢測光源和光電二極管之間空氣中顆粒物的減弱程度,從而檢測顆粒物的大小。件數。
粒子傳感器需要仔細注意測量精度設置。與光散射和光屏蔽方法相同,如果顆粒傳感器的測量精度對于潔凈室的潔凈度來說太高,則測量誤差往往會增加。
為了在潔凈室潔凈度管理所需的測量誤差內使用顆粒傳感器,有必要選擇具有適當測量范圍的型號。
有關粒子傳感器的其他信息
1.與塵埃計的區別
塵埃計與顆粒傳感器或顆粒計數器之間的最大區別在于要測量的顆粒濃度。粉塵儀通常用于測量0.01 mg/m3或更高濃度的細顆粒物濃度,并根據顆粒物的重量而不是數量來評估濃度。另一方面,顆粒傳感器和顆粒計數器的不同之處在于它們通過顆粒數量來量化測量。
其中,粒子計數器主要進行單次測量,規格詳細,從1級到9級,可以承受低濃度、高潔凈環境測量,而塵埃計可以進行連續測量,濃度范圍也比較寬。 。
2. 便攜式顆粒傳感器
如今,有各種環境和行業對潔凈度的要求,測量地點不僅在潔凈室,而且在各種各樣的場所,因此對易于攜帶的顆粒傳感器的需求很大。
每個制造商都提供各種旨在提高用戶便利性的產品,例如可通過 USB 連接到計算機進行數據分析的由鋰離子電池供電的型號、可連接到多點監控系統的型號以及可連接到多點監控系統的型號。配備有攝像頭。我們正在致力于粒子傳感器的開發。
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