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半導(dǎo)體晶片烘烤氧氣管理監(jiān)測(cè)

發(fā)布時(shí)間:2024-03-25 來源:欣仰邦

烘烤核心時(shí)的氧氣管理

氧氣濃度計(jì)使用流程 在熱處理爐內(nèi)進(jìn)行型芯(制造空心鑄件時(shí)插入模具中的砂型)的燒制。
測(cè)量目的 鋁鑄造工業(yè)零件需要具有良好的強(qiáng)度、耐熱性和崩解性時(shí)使用的型芯,必須控制烘烤時(shí)的氧氣濃度。
控制點(diǎn) 10-20%氧氣
填充氣體 -
 

半導(dǎo)體晶圓退火(高溫?zé)崽幚恚┻^程中的氣氛監(jiān)測(cè)

氧氣濃度計(jì)使用流程  半導(dǎo)體晶片燈退火過程中爐內(nèi)的氣氛氣體
測(cè)量目的 監(jiān)測(cè)已去除氧氣的大氣氣體,以防止晶圓和基板氧化。
控制點(diǎn) 5ppmO2以下
填充氣體  氬氣

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